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FETプローブとは、一般的なものよりも高い周波数の測定が可能なプローブで、アクティブプローブとも呼ばれています。その先端には半導体素子を使用しており、それにより入力容量が小さくなるため、大きな負荷がかかることなく測定することが可能となっています。しかし壊れやすく、また高価なので取り扱いには注意が必要です。